六氟化硫以其良好的绝缘性能和灭弧性能，被广泛应用于电器工业，如：断路器、高压开关、高压变压器、气封闭组合电容器、高压传输线、互感器等。SF₆还因其化学惰性、无毒 、不燃及无腐蚀性，还被广泛应用于金属冶炼（如镁合金熔化炉保护气体）、航空 航天、医疗（Ｘ光机、激光机）、气象（示踪分析）、化工（高级汽车轮胎、新型灭火器）等。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子技术领域。随着当今科技的发展，SF₆涉及的领域不断扩展，被越来越多的基础领域和科技领域广泛应用，在制冷行业，用六氟化硫做制冷剂，致冷范围可在-45℃～0℃之间。